Wafer 자동검사
INSPECTION
Wafer 자동검사
MODEL : AWI – 350
검사 대상 : Wafer검사 항목 : EdgeChipping, SurfaceStain, Edae 면폭 측정등6인치 8인치 겸용 , 12인치 대응 가능멀티카세트 장착옵션 : SPC 및 MES 연동하여 내부 공정 및 계측기와 연동 가능
AI 딥러닝적용 얼룩검사 알고리즘 적용
이미지 프로세싱을 기술을 활용한 최상의 얼룩 검출
< 처리전 >
< 이미지 프로세싱 처리 >
